高速掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

高速掃描電子顯微鏡采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。

產(chǎn)品型號(hào)：HEM6000

更新時(shí)間：2024-11-19

廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商

訪(fǎng)問(wèn)量：1851

服務(wù)熱線(xiàn)

4006981718

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

熱銷(xiāo)產(chǎn)品

環(huán)境探測(cè)儀器便攜式多參數(shù)水質(zhì)分析儀便攜式濁度計(jì) 原位水質(zhì)監(jiān)測(cè)儀氣體流量校準(zhǔn)儀皂膜流量計(jì) 汞標(biāo)氣動(dòng)態(tài)發(fā)生器 COD水質(zhì)在線(xiàn)自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀多參數(shù)水質(zhì)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)儀氨氮水質(zhì)在線(xiàn)自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀全功能泄漏檢測(cè)儀有機(jī)碳元素碳分析儀顆粒物綜合采樣器分析天平噪聲儀水、油、氣流量標(biāo)定校準(zhǔn)裝置空氣采樣器氣體流量計(jì) 反應(yīng)釜萃取儀礦用高壓變頻器礦用履帶式消防機(jī)器人消防滅火機(jī)器人紫外可見(jiàn)分光光度計(jì) 廢紙水分測(cè)量?jī)x 微波水分儀近紅外水分儀 *型精密天平 *型分析天平電導(dǎo)率儀顯微熔點(diǎn)儀準(zhǔn)微量天平三重四極桿質(zhì)譜聯(lián)用儀超聲波風(fēng)速風(fēng)向儀全自動(dòng)清洗機(jī) 紅外分光測(cè)油儀電氣測(cè)試儀溶解氧測(cè)定儀便攜式溶氧儀便攜式比色計(jì) 可見(jiàn)光分光光度計(jì) 在線(xiàn)鉑鈷色度檢測(cè)儀鈉離子分析儀濁度分析儀總有機(jī)碳（TOC）分析儀臭氧分析儀 COD檢測(cè)儀水質(zhì)重金屬測(cè)定儀水硬度檢測(cè)儀余氯總氯在線(xiàn)測(cè)定儀多參數(shù)在線(xiàn)水質(zhì)分析儀氨氮測(cè)定儀溫壓流檢測(cè)儀全自動(dòng)液液萃取儀地下水位水質(zhì)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)監(jiān)控系統(tǒng) 熱成像測(cè)溫儀一體式水質(zhì)測(cè)定儀便攜式VOC檢測(cè)儀圓盤(pán)旋光儀無(wú)線(xiàn)藍(lán)牙溶解氧儀筆式鹽度計(jì) 無(wú)線(xiàn)藍(lán)牙電導(dǎo)率儀便攜式水質(zhì)硬度計(jì) 便攜式離子濃度計(jì) ORP計(jì) 加熱磁力攪拌器便攜式濁度儀土壤pH計(jì) 900P水質(zhì)分析儀變頻器一體化UPS電源電力UPS電源 UPS電源無(wú)人機(jī)VOCs熱成像儀 *型雙量程大稱(chēng)量天平自動(dòng)雙量程*型精密天平 VOCs光學(xué)氣體成像熱像儀全自動(dòng)voc樣品預(yù)處理器激光co氣體分析儀安全柜手持測(cè)溫?zé)嵯駜x 可視測(cè)溫?zé)嵯駜x 地下水采樣監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 時(shí)間繼電器測(cè)試儀 SDR紅外測(cè)溫儀微風(fēng)風(fēng)速儀投入式液位變送器多普勒超聲波流量計(jì) 頂空自動(dòng)進(jìn)樣器濁度傳感器實(shí)驗(yàn)室廢水處理機(jī) 短波紅外熱成像儀中波紅外熱成像儀長(zhǎng)波強(qiáng)磁場(chǎng)專(zhuān)用型紅外熱成像儀長(zhǎng)波紅外熱成像儀便攜式紅外熱像儀手持式元素分析儀元素分析儀高溫井下壓差傳感器高溫壓力傳感器裝載機(jī)與用壓力傳感器試驗(yàn)機(jī)專(zhuān)用型壓力傳感器離子束濺射薄膜壓力傳感器空氣降塵在線(xiàn)監(jiān)測(cè)儀射線(xiàn)衍射（XRD）分析儀在線(xiàn)X射線(xiàn)熒光（XRF）分析儀手持式X射線(xiàn)熒光光譜儀體視顯微鏡半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡光學(xué)顯微鏡數(shù)碼顯微鏡激光共焦顯微鏡工業(yè)纖維內(nèi)窺鏡工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡手持式測(cè)厚儀探傷儀雙目融合熱成像儀消防熱成像頭盔總有機(jī)碳分析儀地下水采樣器個(gè)人劑量報(bào)警儀水位尺取樣器恒溫冰箱冷藏箱多氣體分析儀機(jī)動(dòng)車(chē)測(cè)速儀氣體探測(cè)器油煙檢測(cè)儀顆粒物監(jiān)測(cè)儀固/液樣品預(yù)處理系統(tǒng) 多參數(shù)水質(zhì)測(cè)定儀人體測(cè)溫儀測(cè)氡儀防爆終端油氣回收智能檢測(cè)儀材料負(fù)離子測(cè)定儀 VOC在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 實(shí)驗(yàn)室廢水廢液處理紅外光譜儀土壤重金屬分析儀紅外熱成像儀美國(guó)Versa頂空進(jìn)樣器便攜式地下水流速流向儀手持XRF-X射線(xiàn)熒光儀Vanta 建筑工地大氣顆粒物監(jiān)測(cè)儀高速攝像機(jī) 實(shí)驗(yàn)室全自動(dòng)洗瓶機(jī) 風(fēng)速風(fēng)量?jī)x 微流體流變測(cè)量粘度計(jì)

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產(chǎn)品介紹

HEM6000是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

圖像采集速度

10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速電壓

100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)

分辨率

1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

視場(chǎng)大小

最大視場(chǎng)1*1 mm2，高分辨微畸變視場(chǎng)32*32 um2

樣品臺(tái)精度

重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速掃描驅(qū)動(dòng)器

駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過(guò)濾系統(tǒng)

SE/BSE信號(hào)自由切換，

MIX成像信號(hào)比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實(shí)現(xiàn)高分辨大場(chǎng)模式，

4 nm像素點(diǎn)最大視場(chǎng)達(dá)32*32 um2

樣品臺(tái)減速技術(shù)

降低入射電子落點(diǎn)電壓，

同時(shí)提高回收電子的收集效率

浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡

物鏡磁場(chǎng)浸沒(méi)樣品

實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高速自動(dòng)化

全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

大場(chǎng)低畸變

跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場(chǎng)邊緣畸變

低壓高分辨

樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體工業(yè)

生命科學(xué)

材料科學(xué)

地質(zhì)科學(xué)

應(yīng)用案例

芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

指標(biāo)	HEM6000	常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
像素尺寸(單張)	8192*8192
像素點(diǎn)時(shí)間	120 ns（點(diǎn)/行/幀平均數(shù)：6/2/1）	800 ns
像素大小	16 nm
拍攝總面積	2 mm2
拍攝總時(shí)間	25分32秒	>140分

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速電壓		100 V~6 kV(減速模式)
			6 kV~30 kV(非減速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	電子槍類(lèi)型		高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
	物鏡類(lèi)型		浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)	真空系統(tǒng)		全自動(dòng)控制，無(wú)油真空系統(tǒng)
	樣品監(jiān)控		樣品倉(cāng)監(jiān)控水平攝像頭；換樣倉(cāng)監(jiān)控垂直攝像頭
	樣品最大尺寸		直徑4英寸
	樣品臺(tái)	類(lèi)型	電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)）
		行程	X、Y軸：110mm； Z軸：28mm；
		重復(fù)定位精度	X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm；
	換樣方式		全自動(dòng)控制
	換樣時(shí)間		＜15 min
	換樣倉(cāng)清洗		全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理	駐點(diǎn)時(shí)間		10 ns/pixel
	圖像采集速度		2*100 M pixel/s
	圖像大小		8K*8K
探測(cè)器和擴(kuò)展	標(biāo)配		鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器
	選配		低角度背散射電子探測(cè)器
			鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器
			壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
			高分辨大場(chǎng)模式
			樣品倉(cāng)等離子清洗系統(tǒng)
			6英寸樣品裝載系統(tǒng)
			主動(dòng)減震臺(tái)
			AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件	語(yǔ)言		中文
	操作系統(tǒng)		Windows
	導(dǎo)航		光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
	自動(dòng)功能		自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散